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设备名称:真空干燥式全自动超声波清洗机

设备型号:FWA-850TEK
清洗对象:集成电路芯片
使用厂家:爱普生精密电子 (苏州)有限公司

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详细参数 Parameter

FWA-850TEKXINGQINGXIJICAIYONGLIUXINGHUANBAOSHUIJIQINGXIGONGYI,JUYOURUXIAYOUDIAN。

(1)  SHEJIXIANJIN、HELI,CHONGFENKAOLVLEHUANBAOHEJIENENGDEYAOQIU;

(2)  DUTEDEJUCHIZHUANGSIZHOUYILIU,QINGXIQUYETIGANJING,WUERCIWURAN;

(3)  CAIYONGQUANFENGBISHIJIEGOU,YUNXINGBUJIANSHEJICHONGFENKAOLVFANGZHIWURAN;

(4)  CHAOSHENGBOZHENDONGBANXUANKONGSHIANZHUANGPEIHECAODIQINGXIESHISHEJI,CAOTIQINGXIQINGLIFANGBIANKUAIJIE;

(5)  QINGXIGUOCHENGZHONGCHAOSHENGBO+PAODONGFUZHU,YOUXIAOTIGAOQINGXIXIAOLV;

(6)  JINGQIAODEDENGGONGWEIYIZAIJIEGOUNENGZUIDAXIANDUDIJIANSHAOFUZHUYUNXINGSHIJIAN,BAOZHENGGONGYICANSHUSHISHIDEZHUNQUEXING;

(7)  DUOBEIJIXIESHOUTISHENG、HENGYIJUNCAIYONGDAOGUIDAOZHUDAOXIANG,DINGWEIZHUNQUE、YUNXINGWUPINGWEN,LIUCHANG;

(8)  SHENGJIANGZHUANGZHIPEIYOUFANGYAJIGOU,YALANGUZHANGZIDONGTINGJIBINGBAOJING,SHIYONGANQUANWUYOU;

 GONGZUOJILI:

DAIQINGXIGONGJIANFANGRULIAOKUANGNEI,YOURENGONGJIANGLIAOKUANGFANGSHANGRULIAOKOU,DUOBEIJIXIEBEIANPLCZHIDINGDECHENGXUJIANGLIAOKUANGBANSONGDAOXIANGYINGGONGWEI;WANCHENGDUIGONGJIANDEQINGXI、PIAOXI、PIAOXI、XIYINGANZAOJIZHENKONGGANZAOHOU、SONGZHIXIELIAOTAICHULIAO。DUOBEIJIXIESHOUYOUQIGANGHENGXIANGQUDONG,ZHIXIANHUAGUIDAOXIANG;SHANGXIATISHENGYOUMADAQUDONG,ZHIXIANDAOZHOUDAOXIANG;CAIYONGCHUMOPINGCAOZUOXITONG,YOUSHOUDONGHEZIDONGQIEHUANKAIGUANJIYOUGUANCAOZUOANNIU,NENGDUIZHENGGEYUNXINGGUOCHENGSHIXINGKONGZHI。

QINGXIGONGYILIUCHENG:


工艺名称

时间(min)

介质

过滤

方式

超声功率

超声频率

使用

温度

01

超声清洗

5-8

碱洗剂

循环

1200W

40Khz

60±5

02

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1200W

40Khz

常温

03

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1200W

40Khz

常温

04

超声清洗

5-8

酸洗剂

循环

1000W

80Khz

60±5

05

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1000W

80Khz

常温

06

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1000W

120Khz

80±5

07

吸引干燥

5-8

热风

循环

-

 

125±5

08

真空干燥

5-8

真空

抽气

-

-

80±5


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